產品介紹：
UV紫外臭氧清洗過程提供一種簡單，經濟，快速獲得超潔凈的表面，去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁*等）上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。獲得超潔凈的表面，只需要在傳統清洗后，再用紫外臭氧清洗過程幾分鐘就可以啦。
紫外臭氧清洗可以去除：
皮膚油脂，有機硅油和油脂，助焊劑，殘留的光刻膠，膠水溶劑，碳等。
怎樣說是“超”潔凈？
接觸角測量方法4－5度。適用AES和ESCA測量細微的峰值。使用蒸汽測試，在冷凝和蒸發時形成一致的彩虹裝的條紋。通常情況下，使用清洗或是超聲清洗工序后，清潔關鍵表面認為完成。紫外臭氧清洗提供一種新的清洗尺度。在傳統清洗工序后加入紫外清洗的應用，產品的性能和可靠性的提升不斷的證明這種新的清洗尺度的價值。
紫外臭氧清洗工作原理：
UVOCS清洗設備的核心是低壓石英汞燈，產生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產生，有機污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發或分解。激發的有機污染物可以和等離子氧原子反應形成氣體，比如CO2,H2O等。整個過程在室溫**發生，并且只需要1到幾分鐘完成。
*注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會變黃。這種現象是由于基材吸收UV能量， 而不是一種涂層。這種氧化鋁在加熱情況下會轉化為他原來的顏色。
**注2：清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時間長度。在大多數應用，元件溫度可以視為室溫。
關鍵特性:
?間歇式燈泡工作方式。燈和定時器通過關閉門來觸發。
?滑行部件托盤－光滑－低震動，滾珠軸承系統－高度到1.5英寸。
?堅固耐用，全部不銹鋼結構
?長壽命。低壓石英水銀蒸汽燈發射254nm和185nm UV，促進快速氧化，去除微量的有機殘留物。
?全面UV保護讓設備操作更安全。
?更低設備采購成本和操作成本。
?0-999秒/分鐘/小時定時器，能夠精確控制。燈和定時器通過門關閉來觸發。
?臭氧排氣護罩：UVOCS托盤型號有一個臭氧護罩，可以允許UVOCS清潔設備放在你的生產線或是設備，和過程相關設備放在一起。這會使得材料的再污染最小化。一個3英寸排氣出口內置在護罩的后面，可以連接到你的排氣系統。沒有提供排氣風扇。最小排氣量需求為100CFM.(立方英尺/分鐘)
?在操作過程結束時有蜂鳴聲。
?UV "ON"指示燈和可見窗口。
?操作簡單：設定定時器，打開門，抽出托盤，將元件放在托盤上。將托盤滑入并關閉門。在清洗操作過程結束有蜂鳴聲。打開門，移開全部的清洗元件。
典型應用包括：
?表面的原子級清洗
?聚合物粘接
?去除有機分子
?釋放捕獲的無機分子
?微流控制作
?微米/納米構型
?紫外光固化
?表面化學改性
?表面殺菌
?表面氧化
?金屬粘結準備
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UVOCS紫外清洗機 | ||
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型號 |
T10x10/OES |
T16x16/OES |
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光照尺寸 |
10" x 10" （25.4×25.4cm） |
16" x 16" （40.6×40.6cm） |
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有效面積: |
100 sq. in. |
256 sq. in. |
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寬: |
14" |
20" |
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深: |
23 3/4" |
29 3/4" |
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高: |
14.5" |
14.5" |
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托盤推出深度: |
33" |
46" |
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滑行托盤: |
1 |
1 |
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結構: |
箱體和托盤為不銹鋼結構 | |
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功耗: |
110Vac / 60Hz 5A Max or 230Vac / 50Hz 2.5 amp Max | |
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臭氧排氣系統: |
有臭氧排氣系統 | |
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排氣口尺寸: |
3" 直徑 | |
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排氣需要: |
100cfm |
100cfm |
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定時器: |
在開始或結束時峰鳴 | |
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"ON"指示器: |
有 |
有 |
